Les composés microélectroniques basés sur des semiconducteurs sont produits lors d'une chaîne de processus complexes aux multiples étapes répétitives de fabrication.

Dans les usines de fabrication des leaders du semiconducteur, les substrats de silicium pur ou de silicium sur isolant sont manipulés au sein d'un processus de production automatisé et ininterrompu. Puissants microprocesseurs, unités mémoire, puces sans fil et unités d'affichage ou capteurs sont ainsi créés à partir de nombreuses étapes de structuration du matériau de base.

Cependant, même dans les usines les plus automatisées où les produits en cours de fabrication sont rapidement acheminés d'une étape à une autre, il y a toujours des pannes inattendues ou des ralentissements résultant par exemple d'interventions de maintenance. Cela implique que les produits en cours de fabrication soient temporairement stockés. La durée de stockage s'avérant bien souvent beaucoup plus longue que la durée du transfert entre deux étapes de fabrication, les unités de stockage sont maintenues extrêmement propres afin d'éviter la dégradation des produits liée à des phénomènes temporels.

Outil primordial qui porte l'information structurelle de chaque couche fonctionnelle des micropuces, le masque de photolithographie doit être utilisable pour une longue durée sans perdre son intégrité. Lorsqu'ils ne sont pas utilisés, les masques doivent être stockés dans des conditions de haute-pureté.

Les composants filtrants d'artemis control sont utilisés avec succès à l'interface entre salle blanche et unité de stockage et empêchent la pénétration des contaminants organiques, acides ou basique dans les boîtes de masques ou de plaques de silicium. Les unités de filtration modulaires sont divisées en couches fonctionnelles qui peuvent être indépendamment changées selon les conditions d'exposition aux contaminants. L'utilisation de ces filtres permet d'atteindre les objectifs de pureté définis à la fois par nos clients à partir de spécifications internes ainsi que par les standards internationaux (ITRS 2010).

Les filtres AMC pour masques et plaques de silicium sont disponibles pour les unités de stockages les plus répandues. Des dimensions personnalisées peuvent être rendues disponibles sur demande.

artemis control encourage l'analyse de la qualité de l'air dans les unités de stockage et peut qualifier de nouvelles unités par des mesures AMC permanentes.