Prozesslufttechnik

Filterprodukte für die Prozesslufttechnik stellen die letzte Reinigungsstufe für Medien wie Luft in der Umgebung von Produkten oder Produktions- und Prozessmitteln dar. Die Produkte müssen die spezifischen Anforderungen erfüllen, die sich aus dem Produktionsschritt selbst und den kundenspezifischen Rezepturen für diesen Schritt ergeben. Diese können je nach Spezifikation und Herstellungsverfahren des Anwenders so unterschiedlich sein, dass kundenspezifische Produkte verfügbar sein müssen.

Eine weitere wichtige Anwendung von Filtern in der Prozesslufttechnik ist der Schutz von Baugruppen in der Prozessanlage vor Kontamination und der damit verbundenen Minderung ihrer Eigenschaften. Dies betrifft z. B. optische Baugruppen in Fertigungsanlagen zur Abbildung oder Inspektion einer Struktur, die mit UV-Licht hoher Leistungsdichte arbeiten. Prozessluftfilter entfernen alle Komponenten, die angeregt durch die UV-Strahlung direkt oder in Kombination mit Spurenstoffen dauerhaft störende partikuläre Verunreinigungen bilden können.

Durch das breite und qualitativ hochwertige Portfolio an Filtermaterialien konnte artemis control Produktreihen für die Prozesslufttechnik aufbauen, mit denen heute alle wichtigen Typen von Produktionsanlagen ausgerüstet werden können.

Für die Anwendungen in der Prozesslufttechnik setzen wir für unsere Kunden die gesamte Bandbreite unserer Fähigkeiten in der Analyse der Umgebungssituation und der Betriebsüberwachung ein. Die Ergebnisse, die wir regelmäßig mit unseren Kunden austauschen, zeigen, dass die Produkte die Anforderungen der Normen erfüllen und übertreffen.

Wir sind stolz darauf, Hersteller von Produktionsanlagen auch im Erstausrüstungsbereich zu unterstützen.

Bericht

Verminderung von Defekten im Photolithoprozess durch AMC Kontrolle

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